浙江MOS管探針臺
探針臺如何工作?探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。探針臺與顯示器一體化設計。浙江MOS管探針臺
探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養(yǎng)相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài),所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成。CV測試探針臺推薦廠家電路板各通道及載體高頻高速測試。
低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能,用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域,是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離,智能熱管理,使用低排放的材料,先進的密封性,使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應用,如石墨烯的研究,分子電子學等的,系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機和專有的熱管理,可以經(jīng)濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業(yè)標準。超穩(wěn)定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統(tǒng)有以下特點:1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k,采用閉循環(huán)制冷機制冷,不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件,可以做簡單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導出。
探針臺操作步驟:1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);3.打開背光面板光源開關;4.調整Zaxis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點針操作步驟:1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置,將三軸歸零;3.調整針座仰角機構,使針尖位于顯微鏡射出光斑上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野位置并通過調整焦距使針尖達到清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后,逆時針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關移動機構時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座,取出背光面板光源和光源燈等電源.晶圓級測試自動探針臺。
探針臺的探針的清洗,1、毛刷清潔法:適用范圍為5微米以上探針,微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙,撕成細長條的形狀,撕成細長的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡視顯微鏡即可,放大倍數(shù)太高無法操作),利用撕下的紙片作為毛刷,輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法:適用范圍是所有探針,灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙,裁成樣品臺大小(或適當?shù)某叽?,固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下,慢慢下壓探針,待探針接觸到白紙后,向后移動探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法:適用范圍是所有探針,清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(燒杯大小以適合用戶操作為宜),并放到超聲波清洗機內。打開超聲波清洗機,然后手捏住探針(注意戴丁腈手套),將針尖放入蒸餾水內,讓震動把灰塵震落,可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次,直到灰塵掉落為止。將探針放到適當?shù)奈恢昧栏珊蠹纯墒褂?。請注意,若清潔微波探針,須將探針放置整晚晾干。探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關鍵設備。浙江非標探針臺
按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。浙江MOS管探針臺
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。浙江MOS管探針臺
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